上周NMC專(zhuān)業(yè)的售后服務(wù)工程師至渭南師范學(xué)院完成了原子層沉積系統(tǒng)NLD-3000的安裝調(diào)試，并順利驗(yàn)收！

NLD-3000是一款PC全自動(dòng)工藝控制的臺(tái)式ALD系統(tǒng)，包含完整的安全聯(lián)鎖功能，能夠沉積氧化物、氮化物、硫化物、氟化物、金屬等高品質(zhì)的薄膜，達(dá)到光學(xué)級(jí)別的表面粗糙度。陽(yáng)極氧化鋁腔體采用內(nèi)外雙層上下結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，加熱腔壁和氣動(dòng)升降頂蓋，一鍵實(shí)現(xiàn)頂蓋開(kāi)啟/閉合。系統(tǒng)集成快速脈沖傳輸閥和多孔大面積加熱的ALD過(guò)濾器，可吸收多余前驅(qū)體。工藝程序、溫度設(shè)定值、氣體流量、抽真空卸真空工序、以及對(duì)傳輸管路的吹掃均通過(guò)LabView軟件全自動(dòng)控制。

 以下為現(xiàn)場(chǎng)安裝圖：整機(jī)圖、腔體及ICP離子源、軟件控制界面。

售后工程師首先進(jìn)行安裝區(qū)域準(zhǔn)備工作，確保有足夠的空間放置設(shè)備主體和配套設(shè)備（如空壓機(jī)、機(jī)械泵、冷水機(jī)等），之后進(jìn)行氮?dú)?、壓縮空氣、冷卻水、前級(jí)泵等管路連接，確保電源和線路連接正確后，安裝前驅(qū)體瓶，后開(kāi)機(jī)調(diào)試，并對(duì)在場(chǎng)師生進(jìn)行講解培訓(xùn)，指導(dǎo)客戶自主創(chuàng)建工藝程序，進(jìn)行打樣測(cè)試，并順利完成驗(yàn)收！